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摘要：薄膜真空計是一種可用作真空壓力計量標準器的精密測量?jì)x器，量程為0.01～10000Pa～200kPa，測量精度有0.5（金屬薄膜規）、0.25（手持式陶瓷電容規）、0.1（標準型陶瓷電容規）級，其特點(diǎn)是測量精度高、有效線(xiàn)性量程寬、計量可重復性好、測量與氣體成分無(wú)關(guān)、不易污染、長(cháng)壽命、抗腐蝕。是電阻真